Вольфрамовые мишени для напыления

Не нашли нужный товар? Обратитесь с заявкой на наш электронный адрес: info@kastmiron.by
В наличии на складе все ГОСТ, ТУ, DIN! Изготавливаем и привозим под заказ Ваши размеры.

Фильтр товаров

Вольфрамовые мишени для напыления 1 мм ВРН ТУ 48-19-119-84

ВРН

от 0.00 р.

Марки:

ВРН

ГОСТы:

ТУ 48-19-119-84

Вольфрамовые мишени для напыления применяются для формирования тонкопленочных покрытий методом физического осаждения из газовой фазы. Эти изделия служат источником материала в процессах катодного распыления в вакуумных установках. Мишени изготавливаются из высокочистого вольфрама, обладающего высокой температурой плавления и стабильностью свойств.

Основные области применения

Нанесение износостойких и защитных покрытий на режущий инструмент и пресс-формы.
Формирование барьерных слоев и межсоединений в микроэлектронике и производстве полупроводников.
Создание теплоотводящих и электропроводящих слоев в силовой электронике.
Осаждение функциональных покрытий для оптических компонентов и элементов солнечных батарей.
Напыление износостойких слоев на детали аэрокосмической и автомобильной техники.

Марки и типы

Основной промышленной маркой является ВРН (вольфрам рафинированный напыляемый). Данная марка характеризуется минимальным содержанием примесей, что критично для чистоты процесса осаждения и свойств получаемой пленки.

Нормативная документация

ТУ 48-19-119-84

Технические параметры и доступные варианты

Мишени производятся методом порошковой металлургии с последующей механической обработкой до требуемых геометрических допусков. Ключевыми параметрами являются чистота материала, плотность и однородность микроструктуры, определяющие стабильность скорости распыления.

Марка материала	Чистота, мин. (%)	Плотность (г/см)	Типовая толщина (мм)	Типовой диаметр (мм)
ВРН	99.95	19.2 - 19.3	3 - 6	50.8, 76.2, 101.6
ВРН	99.95	19.2 - 19.3	6 - 10	127, 152.4
ВРН	99.95	19.2 - 19.3	10 - 20	200, 250

Часто задаваемые вопросы

Что такое Вольфрамовые мишени для напыления?

Вольфрамовые мишени для напыления представля собой прессованные и спеченные изделия из высокочистого вольфрама, которые используются в качестве расходуемого источника материала в вакуумных установках катодного распыления.

Каковы ключевые требования к чистоте мишени?

Высокая чистота (не менее 99.95%) необходима для предотвращения загрязнения осаждаемой пленки, что критично для электрофизических и адгезионных свойств покрытия в микроэлектронике.

Какие факторы влияют на стабильность процесса распыления?

На стабильность скорости распыления напрямую влияют плотность и микропористость мишени, а также однородность ее химического состава и микроструктуры по всему объему.

Возможно ли изготовление мишеней нестандартной геометрии?

Да, производство по ТУ 48-19-119-84 допускает изготовление прямоугольных и других фасонных мишеней под конкретную конфигурацию камеры напыления, включая механическую обработку крепежных элементов.