Круглые серебряные мишени для напыления

Круглые серебряные мишени для напыления применяются для формирования тонкопленочных покрытий методом катодного распыления или термического испарения в вакууме. Эти изделия служат источником материала при нанесении функциональных слоев на подложки. Основные характеристики включают высокую чистоту основного металла, минимальное содержание газообразующих примесей и строгую геометрию для обеспечения равномерного распыления.

Области применения

• Нанесение отражающих и проводящих слоев в производстве оптических элементов и зеркал.
• Формирование контактных площадок и межсоединений в микроэлектронике и приборостроении.
• Создание износостойких и декоративных покрытий в машиностроении.
• Производство низкоэмиссионных стекол и энергосберегающих покрытий.
• Напыление функциональных слоев для научно-исследовательских работ и опытных установок.

Марки и сплавы

Мишени изготавливаются из серебра высокой чистоты, а также его сплавов с легирующими добавками для модификации свойств получаемого покрытия. В поставку доступны различные марки, включая Ср99.99, СрМ, СрЦМ-1.8-0.9, Пл 99.93, Рд99.9, Зл99.99, И 99.9, Пд99.9.

Нормативная документация

• ГОСТ 6836-2007
• ГОСТ 28596-2020
• ТУ 1766-001-45905715-2005
• ТУ 1766-002-45905715-2005

Технические параметры и доступные варианты

Геометрические параметры мишеней стандартизированы под типовые камеры напыления. Ключевыми являются диаметр, толщина и чистота материала, которые напрямую влияют на скорость осаждения и качество пленки. Доступны как стандартные, так и нестандартные размеры по запросу.

Часто задаваемые вопросы