Мишени из благородных металлов и сплавов

Мишени из благородных металлов и сплавов применяются для формирования тонкопленочных покрытий методом катодного распыления (магнетронного напыления). Эти расходные элементы являются источником материала в установках вакуумного напыления. Их основная функция обеспечение контролируемого пероса атомов сплава на подложку для получения слоя с заданными электрофизическими и защитными свойствами.

Основные области применения

• Нанесение токопроводящих и барьерных слоев в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем.
• Создание износостойких и коррозионностойких покрытий для деталей точной механики и медицинского инструмента.
• Формирование оптических и отражающих слоев в приборостроении и производстве стекол.
• Напыление контактных площадок и межсоединений в микроэлектронике.

Типовые марки сплавов

• СрМ (серебро-медь)
• СрЦМ-1.8-0.9 (серебро-цинк-медь)

Соответствие стандартам

• Изготовление регламентируется техническими условиями на конкретные сплавы.

Технические параметры и доступные варианты

Мишени производятся методом точного литья с последующей механической обработкой для обеспечения требуемой чистоты поверхности, плоскостности и состава. Ключевые параметры включают геометрические размеры, плотность, чистоту базового материала и однородность структуры сплава.

Часто задаваемые вопросы