Молибденовые мишени для напыления

Не нашли нужный товар? Обратитесь с заявкой на наш электронный адрес: info@kastmiron.by 
В наличии на складе все ГОСТ, ТУ, DIN! Изготавливаем и привозим под заказ Ваши размеры.
Марки:
МВНД-МП, М-МП, МЧ, МЧВП, ТСМ-3, ТСМ-3МП

Молибденовые мишени для напыления применяются для формирования тонкопленочных покрытий методом физического осаждения из газовой фазы. Эти изделия представляют собой источник материала в процессах магнетронного или ионно-лучевого распыления в вакуумных установках.

Основные области применения

  • Нанесение проводящих и барьерных слоев в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем.
  • Создание износостойких и термостойких покрытий на режущем инструменте и пресс-формах.
  • Формирование отражающих и адгезионных слоев в оптике и приборостроении.
  • Напыление функциональных слоев для плоских дисплеев и тонкопленочных солнечных элементов.
  • Нанесение защитных покрытий в аэрокосмической промышленности и для специальных компонентов.

Марки и типы мишеней

Мишени изготавливаются из молибдена различной чистоты и структуры, что определяет их эксплуатационные параметры. К распространенным маркам относятся МВНД-МП, М-МП, МЧ, МЧВП, ТСМ-3, ТСМ-3МП.

Нормативная документация

  • ГОСТ 4759-91
  • ГОСТ 18905.0-73
  • ТУ 48-4-350-84

Технические параметры и доступные варианты

Ключевыми характеристиками мишеней являются чистота базового материала, плотность, микроструктура и уровень примесей, напрямую влияющие на стабильность процесса распыления и качество получаемой пленки. Доступны различные геометрические формы: диски, прямоугольные пластины, цилиндры.

Марка материалаЧистота, мин. %Плотность, г/смТиповая формаСредний размер зерна, мкм
МЧ99.9510.2Диск15-30
МЧВП99.9710.22Прямоугольная пластина5-20
ТСМ-3МП99.910.15Цилиндр30-50

Часто задаваемые вопросы

Что такое Молибденовые мишени для напыления?

Это изделия из молибдена высокой чистоты, которые служат источником материала для осаждения тонких пленок в вакуумных установках магнетронного распыления.

Какие преимущества у молибдена как материала мишени?

Молибден обладает высокой температурой плавления, хорошей теплопроводностью и стабильной скоростью распыления, что обеспечивает равномерное осаждение пленки и длительный ресурс мишени.

Как выбирается марка мишени для конкретной задачи?

Выбор зависит от требуемой чистоты осаждаемого слоя, типа вакуумной установки и условий процесса: для высокоточных полупроводниковых применений требуются марки с минимальным содержанием примесей.

На что влияет плотность и структура материала мишени?

Высокая плотность и однородная мелкозернистая структура минимизируют образование частиц и разбрызгивание, повышая стабильность разряда и качество пленочного покрытия.

Прямые поставки

без посредников

Отсрочка платежа

до 30 дней

Редкие позиции

в наличии и под заказ

Быстрая доставка

за 1-2 дня

Вы смотрели